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연구 주제
nm

 OLED 박막 두께 측정 기술 

 OLED 박막 두께 측정 기술 

 TSV 형상 측정 기술 

 지능형 반도체 미세 패턴 측정 기술 

 절전형 웨이퍼 두께 측정 기술 

소자

광섬유 광 빗 레이저 기술

정밀 분광 기술 

인공신경망 알고리즘 기술

길이 표준 기반 성능 평가 기술

유연디스플레이 기판 두께 측정 기술

인공지능을 이용한 두께 분석 기술 (AI - Metrology)

mm

멀티스케일 복합 두께 및 적층구조 측정 기술

강화 유리 기판 두께 및 굴절률 측정 기술

300 mm 실리콘 웨이퍼 두께 및 굴절률 분포 측정 기술

m

절대 거리 측정 기술

10.5 세대 대형 디스플레이 기판 두께 측정 기술

연 락 처
주소: 대전광역시 유성구 가정로 267 한국표준과학연구원 201동 EB10호, EB14/15호

전화번호: 042-868-5873 
이메일: jonghan@kriss.re.kr, jonghan@ust.ac.kr
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