멀티스케일 길이측정연구실
Laboratory for
Multi-scale Length Metrology
KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE (KRISS)
UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (UST)
연구 주제
nm
OLED 박막 두께 측정 기술
OLED 박막 두께 측정 기술
TSV 형상 측정 기술
지능형 반도체 미세 패턴 측정 기술
절전형 웨이퍼 두께 측정 기술
유연디스플레이 기판 두께 측정 기술
mm
멀티스케일 복합 두께 및 적층구조 측정 기술
강화 유리 기판 두께 및 굴절률 측정 기술
300 mm 실리콘 웨이퍼 두께 및 굴절률 분포 측정 기술
m
절대 거리 측정 기술
10.5 세대 대형 디스플레이 기판 두께 측정 기술
