등록특허

[35] 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 컬러 스케일 (10-2041890)

[34] 공기 부상 박막 두께 측정 장치 (10-2039426)

[33] 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치 (10-1987402)

[32] 반사면 프로파일 측정 방법 및 장치 (10-1968916)

[31] 측정 불가 구간과 방향 모호성이 없는 절대 거리 측정을 위한 분광형 간섭계 시스템 (10-1792632, PCT/KR2016/010612)

[30] 대형 유리기판의 물리적 두께 프로파일 및 굴절률 분포 측정을 위한 광간섭계 시스템 (10-1733298)

[29] 기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 반사형 광섬유 간섭 장치 (10-1566383)

[28] 두께 측정 장치 (10-1554203, JP 2014-135984, CN 201410319193.7)

[27] 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 (10-1544968, US 14/323,211)

[26] 기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 투과형 광섬유 간섭 장치 (10-1544962)

[25] 유체 렌즈를 이용한 다층 구조 측정 장치 및 그 측정 방법 (10-1533997)

[24] 광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 동시 측정 장치 및 방법 (10-1533994)

[23] FBG를 이용한 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법 (10-1456545)

[22] 광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 동시 측정 장치 및 방 (10-1451176)

[21] 광섬유 페룰 공진기를 이용한 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법 (10-1451176)

[20] 홀 형상 및 깊이 고속 측정 방법 (10-1407482)

[19] 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치 및 측정 방법 (10-1398835)

[18] 거리 측정 장치 및 거리 측정 방법 (10-1391183)

[17] 렌즈형 광섬유를 이용한 미세홀 깊이 측정 장치 및 방법 (10-1390749)

[16] 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일 (10-1341804, PCT/KR2013/003469, US 14/540,743)

[15] 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 이진 스케일 (10-1328996)

[14] 씨엠엠 탐침의 광학적 위치측정 장치 (10-1322782)

[13] 두께 변화 측정 장치 및 두께 변화 측정 방법 (10-1319555)

[12] 다차원 유속 측정을 위한 광 간섭 유속계 (10-1317630)

[11] 가시도 향상 저결맞음 간섭계 (10-1282932)

[10] 가시도 향상 간섭계 (10-1267879)

[9] 공간상 유동장 측정을 통한 수중 이동체 정밀 탐색 방법 (10-1261276)

[8] 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법 (10-1242470, PCT/KR2011/004616)

[7] 광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법 (10-1227125)

[6] 비접촉식 3차원 좌표 측정 장치 (10-1179952)

[5] 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치 (10-1135142)

[4] 펄스레이저를 이용한 물질 두께 및 굴절률 측정 시스템 (10-1105449)

[3] 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경 및 초점검출 방법 (10-1091111)

[2] 입체형상측정장치 (10-1088777)

[1] 마이크로 입자영상 유속계 교정장치 (10-1079780)